Descripción

El Limpiador de Plasma V1000XS de Yamato es un modelo de gran capacidad diseñado para procesos avanzados de limpieza en seco, incluyendo eliminación de sustancias orgánicas, películas oxidadas y preparación de superficies. Ideal para grabado por plasma y limpieza de materiales en laboratorios, industrias electrónicas y entornos de fabricación de alta precisión.

Características Principales

Tipo de Plasma: Electrodo paralelo DP/RIE, con potencia ajustable de 1.000 a 2.000 W para máxima eficiencia.
Generador RF de Alta Confiabilidad: Frecuencia de oscilación de 13,56 MHz.
Escenario de Trabajo: Placa plana paralela de 400 mm × 375 mm, diseñada para procesos de gran capacidad.
Control de Gas: Sistema de flujo másico con 2 entradas para gases de reacción y 1 para gas de purga, garantizando un plasma estable.
Bomba de Vacío Incluida: Volumen de escape de 1000 a 1500 L/min para mantener condiciones óptimas de plasma.
Dispositivos de Seguridad Integrados: Interruptor de puerta, enclavamiento del panel lateral, parada de emergencia y protección contra sobrecalentamiento.

Aplicaciones

Limpieza de superficies en seco: eliminación de contaminantes orgánicos y películas oxidadas.
Grabado y activación de materiales: para mejorar adhesión o preparación antes de recubrimientos.
Procesos industriales de gran capacidad: laboratorios, electrónica y nanotecnología.
Optimización de procesos de plasma: mediante control preciso de gas, vacío y potencia.