Limpiador de plasma (electrodo paralelo)(V1000XS)
Modelo de gran capacidad adecuado para procesos de limpieza en seco como la eliminación de sustancias orgánicas, películas oxidadas y para limpieza de superficies, grabado, etc.
El Limpiador de Plasma V1000XS de Yamato es un modelo de gran capacidad diseñado para procesos avanzados de limpieza en seco, incluyendo eliminación de sustancias orgánicas, películas oxidadas y preparación de superficies. Ideal para grabado por plasma y limpieza de materiales en laboratorios, industrias electrónicas y entornos de fabricación de alta precisión.
Características Principales
Tipo de Plasma: Electrodo paralelo DP/RIE, con potencia ajustable de 1.000 a 2.000 W para máxima eficiencia.
Generador RF de Alta Confiabilidad: Frecuencia de oscilación de 13,56 MHz.
Escenario de Trabajo: Placa plana paralela de 400 mm × 375 mm, diseñada para procesos de gran capacidad.
Control de Gas: Sistema de flujo másico con 2 entradas para gases de reacción y 1 para gas de purga, garantizando un plasma estable.
Bomba de Vacío Incluida: Volumen de escape de 1000 a 1500 L/min para mantener condiciones óptimas de plasma.
Dispositivos de Seguridad Integrados: Interruptor de puerta, enclavamiento del panel lateral, parada de emergencia y protección contra sobrecalentamiento.
Aplicaciones
Limpieza de superficies en seco: eliminación de contaminantes orgánicos y películas oxidadas.
Grabado y activación de materiales: para mejorar adhesión o preparación antes de recubrimientos.
Procesos industriales de gran capacidad: laboratorios, electrónica y nanotecnología.
Optimización de procesos de plasma: mediante control preciso de gas, vacío y potencia.
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